超純水（即高純水）：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ&#8226；cm，或接近18.3MΩ&#8226；cm極限值。一般工藝很難達(dá)到的程度，可采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟。 

超純水設(shè)備，又可稱(chēng)高純水設(shè)備，就是制取超純水（高純水）的水處理設(shè)備，通常作為反滲透設(shè)備后的二次除鹽設(shè)備。 

超純水的工藝流程可分為4大種：

1、采用離子交換方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂過(guò)濾床→陰樹(shù)脂過(guò)濾床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn) 　　

2、采用兩級(jí)反滲透方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→第1級(jí)反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級(jí)反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→微孔過(guò)濾器→純化水箱→用水點(diǎn) 　　

3、采用混合離子交換方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

4、采用EDI方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn) 

超純水傳統(tǒng)的制備工藝通常是采用離子交換樹(shù)脂進(jìn)行制取，但采用離子交換樹(shù)脂通常需要經(jīng)常性的進(jìn)行樹(shù)脂再生，即耗費(fèi)物力又浪費(fèi)人工，我們公司經(jīng)過(guò)多年實(shí)踐，同時(shí)結(jié)合新的膜分離技術(shù)，常采用反滲透加離子交換系統(tǒng)（或EDI）相結(jié)合用來(lái)制備超純水，該工藝與傳統(tǒng)工藝相比具有運(yùn)行成本低的優(yōu)點(diǎn)（離子交換器的再生周期大大延長(zhǎng)），運(yùn)行可靠。與新工藝相比具有造價(jià)低，耗材易得的優(yōu)點(diǎn)。反滲透工藝技術(shù)可靠。 

超純水經(jīng)常用于微電子工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)、發(fā)電工業(yè)、制藥行業(yè)和實(shí)驗(yàn)室。EDI純水也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產(chǎn)用水、化工廠工藝用水，以及其它超純水應(yīng)用領(lǐng)域。