超純水（即高純水）：既將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ&#8226；cm，或接近18.3MΩ&#8226；cm極限值。一般工藝很難達到的程度，可采用預處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟。 

超純水設備，又可稱高純水設備，就是制取超純水（高純水）的水處理設備，通常作為反滲透設備后的二次除鹽設備。 

超純水的工藝流程可分為4大種：

1、采用離子交換方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點 　　

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第1級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→微孔過濾器→純化水箱→用水點 　　

3、采用混合離子交換方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

4、采用EDI方式，其流程如下：源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點 

超純水傳統(tǒng)的制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取，但采用離子交換樹脂通常需要經(jīng)常性的進行樹脂再生，即耗費物力又浪費人工，我們公司經(jīng)過多年實踐，同時結(jié)合新的膜分離技術(shù)，常采用反滲透加離子交換系統(tǒng)（或EDI）相結(jié)合用來制備超純水，該工藝與傳統(tǒng)工藝相比具有運行成本低的優(yōu)點（離子交換器的再生周期大大延長），運行可靠。與新工藝相比具有造價低，耗材易得的優(yōu)點。反滲透工藝技術(shù)可靠。 

超純水經(jīng)常用于微電子工業(yè)、半導體工業(yè)、發(fā)電工業(yè)、制藥行業(yè)和實驗室。EDI純水也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產(chǎn)用水、化工廠工藝用水，以及其它超純水應用領(lǐng)域。